GB/T 35306-2017 硅單晶中碳、氧含量的測定 低溫傅立葉變換紅外光譜法

標準號：GB/T 35306-2017

中文標準名稱：硅單晶中碳、氧含量的測定 低溫傅立葉變換紅外光譜法

英文標準名稱：Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry

標準狀態：現行

中國標準分類號：(CCS)H17

標準分類號：(ICS)77.040

發布日期：2017-12-29

實施日期：2018-07-01

主管部門：標準化管理委員會

歸口單位：半導體設備和材料標準化技術委員會

主要起草單位

昆明冶研新材料股份有限公司 、江蘇中能硅業科技發展有限公司 、宜昌南玻硅材料有限公司 、新特能源股份有限公司 、亞洲硅業(青海)有限公司 、青海黃河上游水電開發有限責任公司新能源分公司 、陜西天宏硅材料有限責任公司 。

主要起草人

張云暉 、韓小月 、毛智慧 、趙建為 、劉曉霞 、王桃霞 、田洪先 、劉明軍 、銀波 、劉國霞 、蔡延國 、秦榕 、童孟 、錢津旺 、楊紅燕 。

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