GB/T 35310-2017 200mm硅外延片

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 35310-2017

中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：200mm硅外延片

英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：200mm silicon epitaxial wafer

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行

中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：(CCS)H82

標(biāo)準(zhǔn)分類號：(ICS)29.045

發(fā)布日期：2017-12-29

實施日期：2018-07-01

主管部門：標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

歸口單位：半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會

主要起草單位

南京國盛電子有限公司 、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院 。

主要起草人

馬林寶 、駱紅 、楊帆 、金龍 、楊素心 。

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