GB/T 32495-2016 表面化學分析 二次離子質譜 硅中砷的深度剖析方法

標準號：GB/T 32495-2016

　　中文標準名稱：表面化學分析 二次離子質譜 硅中砷的深度剖析方法

　　英文標準名稱：Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of arsenic in silicon

　　標準狀態：現行

　　中國標準分類號：(CCS)G04

　　標準分類號：(ICS)71.040.40

　　發布日期：2016-02-24

　　實施日期：2017-01-01

　　主管部門：標準化管理委員會

　　歸口單位：微束分析標準化技術委員會

主要起草單位

　　中國電子科技集團公司第四十六研究所 。

主要起草人

　　馬農農 、陳瀟 、何友琴 、王東雪 。

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